設備・備品名分野/分類設備使用受託試験
アートワーク作成装置MEMS/加工
インクジェット塗布装置(JKA)MEMS/加工故障中
光学式膜厚計MEMS/測定
酸化拡散炉MEMS/加工
真空蒸着装置MEMS/加工故障中故障中
スパッタリング装置MEMS/加工
スピンコータMEMS/加工
ダイシングソーMEMS/加工
超高分解能走査型電子顕微鏡MEMS/観察
直流高圧電源MEMS/加工
反応性イオンエッチング装置MEMS/加工
プラズマエッチング装置MEMS/加工
ホール効果測定装置MEMS/測定
両面マスクアライナ(JKA)MEMS/加工
レーザー描画装置MEMS/加工
ワイヤボンダMEMS/加工

関連情報

設備使用料一覧
受託試験手数料一覧
装置の活用例
・(JKA):(公財)JKA補助事業により導入
・※:高度技術研究開発センターの設備