設備・備品名分野/分類設備使用受託試験
アートワーク作成装置MEMS/加工〇‐
インクジェット塗布装置(JKA)MEMS/加工〇‐
光学式膜厚計MEMS/測定〇〇
酸化拡散炉MEMS/加工〇〇
真空蒸着装置MEMS/加工故障中故障中
スパッタリング装置MEMS/加工〇〇
スピンコータMEMS/加工〇〇
ダイシングソーMEMS/加工〇〇
超高分解能走査型電子顕微鏡MEMS/観察〇〇
直流高圧電源MEMS/加工‐‐
反応性イオンエッチング装置MEMS/加工〇〇
プラズマエッチング装置MEMS/加工〇〇
ホール効果測定装置MEMS/測定〇〇
両面マスクアライナ(JKA)MEMS/加工〇〇
レーザー描画装置MEMS/加工〇〇
ワイヤボンダMEMS/加工〇〇

関連情報

・設備使用料一覧
・受託試験手数料一覧
・装置の活用例
・(JKA)：（公財）JKA補助事業により導入
・※：高度技術研究開発センターの設備