蒸着用マスクの吸着力解析

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蒸着用マスクの吸着力解析(PDF)

背景

1. 目的
   有機ELディスプレイ製造時に磁石を用いて、蒸着マスクと基板を密着させるため、その密着範囲（有効密着領域）を評価したい。
2. 課題
   ・マスクに作用する磁力のモデル化
   ・密着範囲の評価
   

まとめ

• 基板とメッシュ薄膜間には異物やフレームのゆがみによって多少のギャップが生じるが、本検討によってギャップの上限値を求めることができた。
• これまで評価ができなかった薄膜と基材の密着可能なギャップについて、定量的な評価ができるようになった。

シミュレーション機器のご利用方法

山形県工業技術センターに設置しているシミュレーション機器の一部を、 有料でお使い頂くことができます。基本的にお客様ご自身に機器を操作していただきます。初めてのご利用、もしくは経験が浅く不安な時は、担当職員がお手伝いします。