洗浄槽内の流れ解析

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洗浄槽内の流れ解析(PDF)

背景

  1. 目的
    蒸着マスクの洗浄度合いにムラがあるため、洗浄工程の改善をしたい。
  2. 課題
    バルブによる流量調整は可能であるが、流れを可視化できないため、適正な流入比を特定する。

まとめ

  • バルブごとの流量によって洗浄槽内の流れがどのように変化するか傾向をつかむことができた。
  • これまで実績のある流量比とその時の洗浄のされ方がシミュレーションの流れから概ね説明できるため、本解析を基に流量比を調整できた。

シミュレーション機器のご利用方法

山形県工業技術センターに設置しているシミュレーション機器の一部を、 有料でお使い頂くことができます。基本的にお客様ご自身に機器を操作していただきます。初めてのご利用、もしくは経験が浅く不安な時は、担当職員がお手伝いします。