微細な開口構造を持つ薄膜の均質化

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微細な開口構造を持つ薄膜の均質化(PDF)

背景

1. 目的
   微細な開口構造を大量に持つ薄膜を含む製品の応力解析がしたい。
2. 課題
   ・開口構造全体をCAD上で表現することができない
   ・微小な開口構造により元の材料の定数をそのまま使用して解析ができない。
   

まとめ

• 均質化により開口構造を持つ薄膜の材料定数を推定することができた。
• 等価的な材料定数により、微小な開口構造をモデル化することなく応力解析を実施することができるようになった。

シミュレーション機器のご利用方法

山形県工業技術センターに設置しているシミュレーション機器の一部を、 有料でお使い頂くことができます。基本的にお客様ご自身に機器を操作していただきます。初めてのご利用、もしくは経験が浅く不安な時は、担当職員がお手伝いします。