蒸着源の熱によるマスクの変形量解析

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蒸着源の熱によるマスクの変形量解析(PDF)

背景

1. 目的
   有機ELマスクの蒸着時には蒸着源によってマスク薄膜が局所的に加熱される。その加熱による変形量を推定したい。
2. 課題
   ・マスク薄膜とガラス基板間の摩擦力の推定
   ・蒸着源による加熱のモデル化
   

まとめ

• 蒸着中のマスクの変形量は測定することができないため、シミュレーションにより定量的な評価可能となった。
• 摩擦を考慮することにより蒸着源による加熱ではほぼマスクは変形しないことが確認できた。

シミュレーション機器のご利用方法

山形県工業技術センターに設置しているシミュレーション機器の一部を、 有料でお使い頂くことができます。基本的にお客様ご自身に機器を操作していただきます。初めてのご利用、もしくは経験が浅く不安な時は、担当職員がお手伝いします。