プラズマ加工時の電界分布解析

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プラズマ加工時の電界分布解析(PDF)

背景

1. 目的
   プラズマ加工時の電界の偏りを可視化したい。
2. 課題
   プラズマの模擬
   

まとめ

• プラズマの専用解析ソフトではないため、プラズマを導体で模擬して解析を実施した。
• →電流密度で評価したとき、実際の加工と同等の傾向が確認できたため、完全なモデル化ではないが、傾向把握は可能と判断した。

シミュレーション機器のご利用方法

山形県工業技術センターに設置しているシミュレーション機器の一部を、 有料でお使い頂くことができます。基本的にお客様ご自身に機器を操作していただきます。初めてのご利用、もしくは経験が浅く不安な時は、担当職員がお手伝いします。